
Aplicação de carboneto de boro no polimento de wafers
Aplicação de carboneto de boro no polimento de wafers Vantagens do carboneto de boro (B₄C) para o polimento de wafers semicondutores Com dureza ultra-alta (dureza Mohs: 9,3~9,5), forte estabilidade química, resistência a ácidos e álcalis, arestas de grão afiadas e alta eficiência de remoção de material, o pó de carbeto de boro ultrafino classificado de


