
Aplicações do carboneto de boro (B₄C) na indústria de semicondutores
Aplicações do carboneto de boro (B₄C) na indústria de semicondutores 1. Pó abrasivo para lapidação e polimento de ultraprecisão Pasta abrasiva para corte, adelgaçamento da face posterior e polimento fino de wafers de silício monocristalino; baixo dano subsuperficial, elevada taxa de remoção de material, isento de contaminação por metais pesados. Meios de polimento para substratos



